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SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)SEM Base LP
賽默飛世爾定制版SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)SEM Base LP
SEM-Base-LP是我們的標(biāo)準(zhǔn)SEM-Base主動(dòng)壓電振動(dòng)消除平臺(tái)的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安裝，提供*越的性能，并且符合人體工程學(xué)優(yōu)化。緊湊的設(shè)計(jì)便于安裝，無(wú)需使用掃描電子顯微鏡（SEM）的內(nèi)置調(diào)平腳以外的任何東西來(lái)提升掃描電子顯微鏡（SEM）柱。而且，一旦安裝，掃描電鏡的高度以上的地板不會(huì)增加。SEM-Base-LP采用了我們*特的STACIS壓電技術(shù)，具有與我們的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SEM-Base-VI相同的振動(dòng)消除性能。SEM-Base-LP包括腳輪，專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于與許多賽默飛世爾科技（前身為FEI）工具集成。
Example of how SEM-Base LP integrates with the bottom frame of the tool
兼容的Thermo Fisher產(chǎn)品型號(hào)
SEM Base LP與許多Thermo Fisher產(chǎn)品型號(hào)兼容，包括
●Apreo
●Aquilos
●Helios Small DualBeam
●Nova NanoSEM x50
●Quattro S
●Scios
●Teneo
●Verios G4
●Verios 460, 460L
●Versa 3D
如果您的SEM/FIB未列出，請(qǐng)聯(lián)系我們檢查兼容性。
SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)SEM Base LP優(yōu)勢(shì)
硬安裝技術(shù)–SEM底座與內(nèi)部SEM振動(dòng)控制系統(tǒng)兼容，并積極緩解0.6 Hz的低頻地板振動(dòng)。
主動(dòng)慣性振動(dòng)消除-掃描電鏡基地使用高靈敏度，低頻慣性速度傳感器，以實(shí)現(xiàn)高水平的振動(dòng)衰減，即使在安靜的地板。
采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì)–*特的串行設(shè)計(jì)和專(zhuān)有的高壓壓電技術(shù)可實(shí)現(xiàn)從0.6 Hz到150 Hz的寬有源帶寬，以及*與倫比的慣性主動(dòng)消振，從2 Hz開(kāi)始可降低90%。
性能
1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
規(guī)格
性能
主動(dòng)自由度 | 6 |
主動(dòng)帶寬 | 0.6 Hz - 100 Hz |
被動(dòng)固有頻率 | 標(biāo)稱值為12 Hz |
有效的主動(dòng)共振頻率 | 0.5 Hz |
1 Hz時(shí)的隔振 | 40% - 70% |
2 Hz時(shí)的隔振 | 90% |
≥3 Hz時(shí)的隔振 | 90 - 98% |
內(nèi)部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
工作負(fù)載范圍 | 標(biāo)準(zhǔn)承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克） 高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克） |
磁場(chǎng)發(fā)射 4英寸（102毫米）處距離平臺(tái) | <0.02 μG broadband RMSd> |
設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求
環(huán)境和安全 | 符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn) |
主動(dòng)隔振元件 | 最小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動(dòng)器接收來(lái)自高壓放大器的信號(hào)，其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷 |
被動(dòng)隔振元件 | 單個(gè)硬彈性體（無(wú)需壓縮空氣源） |
振動(dòng)傳感器元件 | 向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測(cè)量隔振器下方的地面振動(dòng)，并提供與振動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度成正比的電壓 |
主動(dòng)反饋控制回路 | 在支撐隔振表面的彈簧下方測(cè)量、處理和支撐隔離面 |
尺寸（寬 x 深） | 35.25 x 44.25英寸、895 x 1124毫米 |
高度 | 標(biāo)稱6.3英寸（160毫米），SEM-Base關(guān)閉時(shí)不會(huì)改變 |
工作溫度 | 50° - 90°F 10° - 32°C |
儲(chǔ)存溫度 | -40° - 130°F -40° - 55°C |
濕度 | 80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C |
系統(tǒng)電源要求 | 100、120、230、240 VAC、50/60 Hz AC；<600 W，符合CE標(biāo)準(zhǔn) |
地面位移 | <800 μin. (20 μm) below 10 Hzd> |
內(nèi)置控制器規(guī)格
處理器 | 150/75 MHz雙核 |
采樣率 | 10 kHz |
模擬輸出 | 16個(gè)通道 |
模擬輸入 | 16個(gè)通道 |
狀態(tài)燈 | 單個(gè)LED |
前面板端口 | 1個(gè)串行USB2.0 1個(gè)串行Micro-USB 1個(gè)以太網(wǎng)RJ-45 2個(gè)BNC |
用戶界面 | 前面板液晶顯示屏 超級(jí)終端上的字符菜單 適用于Microsoft Windows的擴(kuò)展GUI 嵌入式以太網(wǎng)GUI |
